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低溫恒溫器系列

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超低溫極低振動超高真空系統

2017-09-06

典型定制型低溫恒溫器 超低溫極低振動超高真空系統

該系統為國家自然科學基金重大科學儀器研制項目“高分辨原位實時摩擦能量耗散測量系統”的重要組成部分,已成功交付運行。該系統集成了鵬力超低溫公司的GM低溫制冷機、GM低溫制冷機為冷源的超低振動低溫恒溫器、液氦/液氮為冷源的低溫恒溫器、GM低溫制冷機為冷源的氦回收純化液化系統、超高真空直線傳樣系統及超高真空圓形傳樣系統等高端設備,并具備較高的性能指標,如溫度低于3K,振動低于±5nm,真空度優于1×10-10mbar。 

技術參數 溫度范圍
<3K 
振動指標
<±5nm
真空度
優于1×10-10mbar

綜合腔性能指標 樣品最低工作溫度 
<3K
樣品工作溫度范圍
3K~室溫連續可調 
樣品垂直方向振幅 
≤±10nm 
樣品水平方向振幅
≤±5nm 
綜合腔真空度
優于5×10-7mbar

真空傳樣性能指標
超高真空部分真空度
極限真空值優于1x10-10 mbar
高真空部分真空度
極限真空值優于1x10-8 mbar

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